膜厚仪(涂层测厚仪)

涂层和覆层厚度测量已成为加工工业、表面工程质量检测的重要一环，是产品达到优等质量标准的必备手段。为使产品国际化，我国出口商品和涉外项目中，对涂层覆层厚度测量有了明确的要求和规定。
　　涂层覆层厚度的测量方法主要有：楔切法涂层测量，光截法涂层测量，电解法涂层测量，厚度差测量法，称重法涂层测量，X射线荧光法涂层测量，β射线反向散射法涂层测量，电容法涂层测量、磁性测量法涂层测量及涡流测量法涂层测量等。这些方法中前五种是有损检测，测量手段繁琐，速度慢，多适用于抽样检验。

一. 磁吸力测量原理及测厚仪
　　***磁铁(测头)与导磁钢材之间的吸力大小与处于这两者之间的距离成一定比例关系，这个距离就是覆层的厚度。涂层测厚仪利用这一原理制成涂层测厚仪，只要覆层与基材的导磁率之差足够大，就可进行涂层测量。鉴于大多数工业品采用结构钢和热轧冷轧钢板冲压成型，所以磁性测厚仪应用***广。涂层测厚仪基本结构由磁钢，接力簧，标尺及自停机构组成。磁钢与被测物吸合后，将测量簧在其后逐渐拉长，拉力逐渐增大。当拉力刚好大于吸力，磁钢脱离的一瞬间记录下拉力的大小即可获得涂层覆层厚度。新型的产品可以自动完成这一记录过程。不同的型号有不同的量程与适用场合。
　　这种仪器的特点是操作简便、坚固耐用、不用电源，测量前无须校准，价格也较低，很适合车间做现场质量控制。　　
二. 磁感应测量涂层的原理
　　采用磁感应原理测量涂层时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小，来测定涂层覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其涂层覆层厚度。涂层覆层越厚，则磁阻越大，磁通越小。利用磁感应原理的涂层测厚仪，原则上可以有导磁基体上的非导磁涂层覆层厚度。一般要求基材导磁率在500以上。如果涂层覆层材料也有磁性，则要求与基材的导磁率之差足够大(如钢上镀镍)。当软芯上绕着线圈的测头放在被测样本上时，涂层测厚仪器自动输出测试电流或测试信号。早期的产品采用指针式表头，测量感应电动势的大小，涂层测厚仪仪器将该信号放大后来指示覆层厚度。近年来的电路设计引入稳频、锁相、温度补偿等地新技术，利用磁阻来调制测量信号。还采用专利设计的集成电路，引入微机，使测量精度和重现性有了大幅度的提高(几乎达一个数量级)。现代的磁感应涂层测厚仪，分辨率达到0.1um，允许误差达1%，量程达10mm。
　　磁性原理涂层测厚仪可应用来***测量钢铁表面的油漆层，瓷、搪瓷防护层，塑料、橡胶覆层，包括镍铬在内的各种有色金属电镀层，以及化工石油待业的各种防腐涂层厚度。

三. 电涡流测量原理涂层测厚仪
　　高频交流信号在测头线圈中产生电磁场，测头靠近导体时，就在其中形成涡流。测头离导电基体愈近，则涡流愈大，反射阻抗也愈大。这个反馈作用量表征了测头与导电基体之间距离的大小，也就是导电基体上非导电覆层厚度的大小。由于这类涂层测厚仪测头专门测量非铁磁金属基材上的涂层覆层厚度，所以通常称之为非磁性测头。非磁性测头采用高频材料做线圈铁芯，例如铂镍合金或其它新材料。与磁感应原理比较，主要区别是涂层测厚仪测头不同，信号的频率不同，信号的大小、标度关系不同。与磁感应涂层测厚仪一样，涡流测厚仪也达到了分辨率0.1um，允许误差1%，量程10mm的高水平。
　　采用电涡流原理的涂层测厚仪，原则上对所有导电体上的非导电体覆层涂层均可测量，如航天航空器表面、车辆、家电、铝合金门窗及其它铝制品表面的漆，塑料涂层及阳极氧化膜。涂层覆层材料有一定的导电性，通过校准同样也可测量，但要求两者的导电率之比至少相差3-5倍(如铜上镀铬)。虽然钢铁基体亦为导电体，但这类任务还是采用磁性原理测量涂层厚度较为合适。

四. 光学测厚仪

     在测量的wafer或glass上面的薄膜上垂直照射可视光，这时光的一部分在膜的表面反射，另一部分透进薄膜，然后在膜与底层 (wafer或glass)之间的界面反射。这时薄膜表面反射的光和薄膜底部反射的光产生干涉现象。SpectraThick series就是利用这种干涉现象来测量薄膜厚度的仪器。